“所以——”彼得罗夫的声音低了下来。
低到温彻贴着门板都听不清楚。
“我以我个人的名义,建议你,千万不要去莫斯科。”
会议室里只剩下暖水瓶里水轻微翻滚的声音。
“莫斯科的冬天太冷了。”
彼得罗夫盯着桌面上的搪瓷杯。
“数学家去了,也是会被冻住的。”
他说这话的时候,脸上没有了在报告厅里的粗犷和张扬。
顾昭昭看着眼前这位老人。
老人花白的眉毛耷垂着,西装皱巴巴的,鞋带散开拖在地上。
“谢谢您,教授。”
顾昭昭的声音也很轻。
“我知道的。”
彼得罗夫点了点头。
他站起来,把椅子推回原位。
走到门口时,他停下脚步,却没有回头。
“你寄给我的那封信,我收到了。”
顾昭昭没出声。
“两句话,没有署名。”
彼得罗夫的背影停顿了一下。
“'一个星期,没食言。您的补充很关键。'”
他握住门把手。
“在飞机上我想了九个小时,也没想出该怎么回你。”
“所以我亲自来了。”
说完,他推开门,大步走了出去。
走廊外,温彻侧身让到一边。
彼得罗夫经过他身旁时脚步沉重,温彻敏锐地捕捉到了老人泛红的眼眶,立刻知趣地移开了目光。
彼得罗夫的身影刚刚拐过走廊尽头。
随员小林就从后面气喘吁吁地追了上来:
“教授!您的草稿纸忘在报告厅了——”
“快点去拿!”
远处传来老人惯有的暴喝声。
脚步声渐远。
走廊恢复了安静。
温彻把门推开一条缝,朝里面看了一眼。
顾昭昭坐在原位,低头翻着草稿本。
表情跟平时没有区别。
但她握笔的手一直没有落下去。
温彻轻轻把门带上。
他转身靠在走廊的墙上,掏出笔记本,翻到今天的记录页。
画了五个叉的那页。
他在最下面空白处写了一行字。
“彼得罗夫教授于会后私下会见顾总工。内容涉密,不予记录。”
合上本子。
走廊那头,江屹无声地走过来。
“聊完了?”
“聊完了。”
温彻收起笔记本。
“彼得罗夫回宾馆了。”
“尼古拉呢?”
“跟大部队一起走的,没再单独行动。三楼那次被王姐拦回来之后,他老实了不少。”
江屹点了点头。
“今天的情况,晚上跟顾总工汇报。”
“明白。”
江屹转身往楼梯间走去。
温彻跟在后面。
经过报告厅时,他朝里面瞥了一眼。
六块黑板还立在讲台前。
上面密密麻麻写满了公式。
粉笔灰从黑板槽里洒落下来,落在讲台的木头地面上,积了薄薄一层。
阳光从窗户斜射进来,照在那层白色的粉笔灰上。
温彻收回目光,加快脚步跟上江屹。
两人走出物理学院大楼。
门外,裴凛的吉普车停在路边。
裴凛坐在驾驶座上,车窗摇下来半截。
“上车。”
第320章 你的手比光刻机更不可替代
华科院半导体研究所。
暗室亮着红色安全灯。
光影把所有东西都染成了血色。
吴建华站在光刻机旁。
两眼布满红血丝。
下巴冒出一片灰白胡茬。
他在这间屋子里熬了三天三夜。
第一批八百颗T/R组件芯片的流片结果,全摊在工作台上。
老周蹲在角落分拣。
合格的放左边,废的放右边。
左边的堆缓慢长高。
右边的堆长得更快。
“老吴,数出来了。”
老周直起腰,膝盖咔吧响了一声。
“合格六百零二颗。”
吴建华在脑子里盘算。
百分之七十五。
比顾总工预估的百分之八十,低了五个百分点。
“前三百颗没问题,良率在百分之八十三左右。”
老周翻开记录本。
“从第三百五十颗开始往下掉,越到后面废得越多。”
“最后一百颗,废了将近四成。”
吴建华沉着脸,走到光刻机前蹲下。
这台国产接触式光刻机是全所的宝贝。
机身的漆皮磕掉了好几块,露出底下的灰色铸铁。
他伸手摸向掩模版固定架的导轨。
导轨边缘有极细微的磨损。
“老周,你过来看。”
老周凑上前。
“导轨磨损了。”
“套刻对准每跑一批就会漂一点。”
“漂到后面,三微米的线宽容限根本兜不住。”
老周张了张嘴:“那……换导轨?”
“换个屁。”吴建华站起身,一巴掌拍在机器外壳上。
“全国就这么一台能干这活的光刻机,备件找谁去要?找老天爷?”
暗室里安静下来。
红色灯光拉长了吴建华的影子。
“打电话。”他说。
“打给谁?”
“长空基地顾总工!”
……
吴建华大步走出去,抓起桌上的红色保密专线电话,要通了长空基地。
长空基地。
顾昭昭的办公室。
桌上的红色保密专线电话响了三声。
顾昭昭放下笔,拿起听筒。
“顾总工,我吴建华。”
“说。”
“第一批八百颗流完了,良率百分之七十五,没达标。”
听筒那头沉默了一秒。
“前段和后段的良率分别多少?”
吴建华报了数。
“光刻机连续作业多长时间了?”
“七十二小时。”
“暗室环境温度波动范围?”
吴建华顿了一下,转头冲老周喊:“温度记录仪拿来!”
老周扯下纸带念数据。
“最高二十三点八度,最低二十一点六度。”
“波动正负一度左右。”
吴建华对着话筒重复了一遍。
“光源用了多久没换?”
“这批灯管……”吴建华想了想,“装上去大概四百个小时。”
“掩模版的材质?”
“钠钙玻璃。”
话筒那头没声了。
吴建华握着听筒,手心出了汗。
电话线里传来极轻微的翻页声。
顾昭昭在翻她的笔记本。
“吴所长,三个问题。”
吴建华猛地挺直腰板。
“第一,你的暗室温控做到正负一度,对接触式光刻来说不够。”
吴建华捏紧了话筒。
“零点五微米的变形,叠加导轨的机械漂移,你的套刻误差直接翻倍。”
“后段的废片,至少有一半是这个原因。”
“第二,光源衰减。”
“四百小时的紫外灯管,输出强度至少下降了百分之十五。”
吴建华把听筒换到左手,右手摸起铅笔快速记录。
“解决办法——去找一台高精度的恒温机组,把暗室温控精度压到正负零点三度以内。”
“灯管立刻换新。”
“每做完五十片,停机重新校准一次套刻对准标记。”
“不要贪快。”
吴建华记完最后一个字,笔尖在纸上戳出一个黑点。
“顾总工,明白了。”
“第三。”
“还有?”
“你三天没睡了。”
电话这头只剩呼吸声。
“人的手在连续工作七十二小时之后,精细操作的稳定性会下降百分之四十。”
“你现在上手操作,只会增加废品率。”
吴建华一时语塞。
“去睡四个小时,醒了再干。”
“我——”
“这是技术建议,不是客气话。”
“你的手,比光刻机的导轨更不可替代。”
咔嗒。
电话挂断。
吴建华举着听筒站在原地。
老周在旁边探头探脑。
“老吴,顾总工怎么说?”
吴建华慢慢把听筒放回座机。
“她说,让我去睡觉。”
“啊?”
“她还说,我的手比光刻机值钱。”
老周没憋住,扑哧笑出声,又赶紧捂住嘴。
吴建华瞪了他一眼,扯下记录纸。
“笑个屁!去,给我找高精度的恒温机组。”
“今天之内搬进来,找不到你就别回来了。”
“上哪儿找啊?”
“京市精密仪器二厂有一台日本三菱的恒温机组!那是去年刚花外汇进口的宝贝,他们还没舍得开箱。老周,你拿所里介绍信去跑。”
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